簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "氧化石墨烯".ckeyword (精準) and ckeyword.raw="單晶碳化矽晶圓"


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    氧化石墨烯複合式拋光液於單晶碳化矽晶圓之化學機械拋光製程分析研究
    • 機械工程系 /107/ 碩士
    • 研究生: 林妤靜 指導教授: 陳炤彰
    • 單晶碳化矽晶圓(Silicon Carbide, SiC)在高功率元件裡相較於單晶單化矽(Silicon)具有高崩潰電壓高寬能隙、高崩潰電壓及高熱傳導率,然而單晶碳化矽具有高硬度(Mohs 9.2)…
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